新萊科技自2009年首次參加SEMICON China以來，十余年來緊密結(jié)合中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展特點(diǎn)和全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢，持續(xù)開發(fā)了真空系統(tǒng)產(chǎn)品與氣體系統(tǒng)產(chǎn)品關(guān)鍵零部件，產(chǎn)品包括真空管道、管件、角閥、門閥、傳輸閥，真空腔體及真空部件等，在氣體系統(tǒng)部分包含非超高純的卡套式球閥、三片式球閥、針閥、卸荷閥、過濾器等顫品，特別在超高純UHP部分有EP管道、管件、微型管件、面密封接頭(VCR)、UHP隔膜閥、UHP調(diào)壓閥、UHP波紋管閥等系列產(chǎn)品。
亮點(diǎn)請先看— IGS 隔膜閥
本體材料最高階可選316L VIM/VAR 耐腐蝕強(qiáng)
閥座材料可耐高溫環(huán)境使用
膜片耐腐蝕性與可靠度擁有高穩(wěn)定性
最小的粒子生成和粒子截留區(qū)域
亮點(diǎn)請先看— FSR (ALD) 隔膜閥
高速驅(qū)動(dòng)，超長循環(huán)壽命
電子或光學(xué)致動(dòng)器位置感應(yīng)選項(xiàng)
適用于超高純度應(yīng)用，采用316L VIM-VAR不銹鋼閥體
亮點(diǎn)請先看— IGS 調(diào)壓閥
本體材料最高階可選316LVAR 耐腐蝕強(qiáng)
閥座材料可耐高溫環(huán)境使用
膜片耐腐蝕性與可靠度擁有高穩(wěn)定性
亮點(diǎn)請先看— 高真空傳輸閥
半導(dǎo)體級，超低磨耗，低粉成塵
維護(hù)容易，維修簡易
長運(yùn)行壽命
亮點(diǎn)請先看— 氣動(dòng)兩段式真空角閥
閥門大開度，增加氣體流量
保養(yǎng)簡易，產(chǎn)品壽命長
亮點(diǎn)請先看— 模塊化氣體系統(tǒng)
采用模塊化設(shè)計(jì)，并集成了半兼容的表面安裝組件
隨著設(shè)備尺寸的減小，安裝和維護(hù)變得更加容易
